五味健二、新津靖: "赤外線レーザ光弾性法によるGaAsウエハの残留応力評価"日本機械学会論文集. Vol.65,No.638A. 2143-2148 (1999)
五味健二、新津靖: "赤外線レーザ光弾性法によるGaAsウエハの残留応力評価"日本機械学会論文集. Vol.65,No.638A. 2143-2148 (1999)
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Kenji Gomi、Yasushi Niitsu:“通过红外激光光弹性法评估 GaAs 晶片的残余应力”,日本机械工程师学会会刊,第 65 卷,第 638A 号(1999 年)。
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