复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性
复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
汪爱英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李小婵;柯培玲;许辉;张栋;汪爱英
