後酸化逆スパッタ法によTiO_2光触媒薄膜の高速成膜

後酸化逆スパッタ法によTiO_2光触媒薄膜の高速成膜
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后氧化反溅射法高速沉积TiO_2光催化薄膜

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
応用物理学会第54回応用物理学関係運合講演会講演予稿集 No.2
影响因子:
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通讯作者:
野口大輔
野口大輔
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
野口大輔;肥後友紀子;奥津加奈;鬼束さおり;野口大輔

文献摘要

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