Y. Hirai, O. Tabata, S. Hafizovic and J. G. Korvink: "Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography"Proc of the High Aspect Ratio Micro Structures. (to be presented). (2003)
Y. Hirai, O. Tabata, S. Hafizovic and J. G. Korvink: "Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography"Proc of the High Aspect Ratio Micro Structures. (to be presented). (2003)
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Y. Hirai、O. Tabata、S. Hafizovic 和 J. G. Korvink：“移动掩模深 X 射线光刻的预测 3D 模拟的 PMMA 溶解速率测量和系统校准”高深宽比微结构的研究成果。
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