アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により作製した窒化炭素皮膜の皮膜構造解析
アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により作製した窒化炭素皮膜の皮膜構造解析
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非平衡磁控溅射法制备氮化碳薄膜的膜结构分析
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高井治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上山秀明;坂上采伽;小野田元伸;松井和則;高井治
