A microplasma high-brightness EUV source at 13.5 nm
A microplasma high-brightness EUV source at 13.5 nm
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13.5 nm 微等离子体高亮度 EUV 光源
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Takeshi Higashiguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Goki Arai;Hiroyuki Hara;Yuhei Suzuki;Thanh Hung Dinh;and Takeshi Higashiguchi
