Uniaxially strained Si/Ge heterostructures grown on selectively ion-implanted substrates

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在选择性离子注入衬底上生长的单轴应变 Si/Ge 异质结构

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Y. Shiraki
Y. Shiraki
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K. Sawano;Y. Shoji;N. Funabashi;E. Yonekura;K. Nakagawa;Y. Shiraki

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