化学機械研磨処理したGaN(0001)表面の菊池線を用いた格子歪み評価

化学機械研磨処理したGaN(0001)表面の菊池線を用いた格子歪み評価
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使用菊池线评估经过化学机械抛光处理的 GaN(0001) 表面的晶格应变

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
戸坂 亜希 ,重田 諭吉
戸坂 亜希 ,重田 諭吉
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中田 淳也,小山 浩司;戸坂 亜希 ,重田 諭吉

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