可動MEMSデバイスへの光学素子垂直自動アライメント技術
可動MEMSデバイスへの光学素子垂直自動アライメント技術
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光学元件与可移动MEMS器件的垂直自动对准技术
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡勇作,篠崎亮輔,寺尾京平,鈴木孝明,下川房男,高尾英邦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Yamasaki;K. Terao;T. Suzuki;F. Shimokawa;H. Takao;H. Yamasaki; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao;山﨑秀貴・寺尾京平・鈴木孝明・下川房男・高尾英邦;Hidekuni Takao;Hidekuni Takao;Hidekuni Takao;岡勇作,篠崎亮輔,寺尾京平,鈴木孝明,下川房男,高尾英邦
