Formation and mechanical properties of island-like nanostructured titanium nitiride thin film by ion beam assisted deposition
Formation and mechanical properties of island-like nanostructured titanium nitiride thin film by ion beam assisted deposition
复制标题
离子束辅助沉积岛状纳米结构氮化钛薄膜的形成及其力学性能
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hitoshi Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori Nakatani;Takuya Ohsawa;Satoshi Hanaki;Hitoshi Uchida
