Thermal Response Analysis of a Temperature Controlled Three-axis Accelerometer for High Temperatures with Integrated Microheaters and Temperature Sensors
Thermal Response Analysis of a Temperature Controlled Three-axis Accelerometer for High Temperatures with Integrated Microheaters and Temperature Sensors
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集成微型加热器和温度传感器的高温温控三轴加速度计的热响应分析
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Ishida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.I.Lee;H.Takao;K.Sawada;H.D.Seo;M.Ishida
