Molecular beam and solid-phase epitaxies of silicon under ultra-high vacuum
Molecular beam and solid-phase epitaxies of silicon under ultra-high vacuum
复制标题
超高真空下硅的分子束和固相外延
DOI:
10.1016/0022-0248(78)90451-7
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发表时间:
1978
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
K. Komatsubara
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Y. Shiraki;Y. Katayama;Kinya Kobayashi;K. Komatsubara