E. Makino, T. Shibata, and D. M. Allen: "Electrochemical photoetching of rolled shape memory alloy sheets for microactuator(in Japanese)"J. Suf. Finish. Soc. Japn. 49,8. 887-893 (1998)
E. Makino, T. Shibata, and D. M. Allen: "Electrochemical photoetching of rolled shape memory alloy sheets for microactuator(in Japanese)"J. Suf. Finish. Soc. Japn. 49,8. 887-893 (1998)
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E. Makino、T. Shibata 和 D. M. Allen：“微致动器用卷状形状记忆合金片的电化学光刻（日语）”J.
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