スパッタリング法による金属薄膜成膜時のRHEED振動の観察
スパッタリング法による金属薄膜成膜時のRHEED振動の観察
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溅射法金属薄膜沉积过程中 RHEED 振动的观测
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳原 英人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小島 泰介;柳原 英人
