Structure Control and Etching Stabilities of Carbon Nanowalls Grown by Low Magnetic-Field Helicon Plasma CVD
Structure Control and Etching Stabilities of Carbon Nanowalls Grown by Low Magnetic-Field Helicon Plasma CVD
复制标题
低磁场螺旋等离子体 CVD 生长碳纳米墙的结构控制和刻蚀稳定性
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M.Yamazaki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
焼山佑美;森田靖;Kazuki Miyagi;T.Kaneko;山内美穂;焼山佑美;藤田哲嗣;Q.Chen;岡崎雅明;山内美穂;松井佑実子;池田宏和;焼山佑美;Masaaki Okazaki;M.Yamazaki
