電子線リソグラフィのマルチフィジックスシミュレーション
電子線リソグラフィのマルチフィジックスシミュレーション
复制标题
电子束光刻的多物理场模拟
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
道下勝司，安田雅昭，川田博昭，平井義彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡部謙志;秋田一平;石田誠;道下勝司，安田雅昭，川田博昭，平井義彦
