Control of Macrostep Structure for High-Quality SiC Grown by Liquid Phase Epitaxy
Control of Macrostep Structure for High-Quality SiC Grown by Liquid Phase Epitaxy
复制标题
液相外延生长高质量SiC宏观台阶结构的控制
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Tagawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Ujihara;C. Zhu;K. Murayama;S. Harada;M.Tagawa
