レーザ照射による単結晶シリコン加工変質層の修復
レーザ照射による単結晶シリコン加工変質層の修復
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激光辐照修复单晶硅损伤层
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小林史典，閻 紀旺，久保百司，厨川常元
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.R.Zainudin,Y.Ishida;S.Yoshida;J.Ikeno;閻 紀旺;Makoto SASAKI,Junichi IKENO;小林史典，閻 紀旺，久保百司，厨川常元
