Laterally electrostatically driven poly 3C-SiC folded-beam resonant microstructures
Laterally electrostatically driven poly 3C-SiC folded-beam resonant microstructures
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横向静电驱动多晶3C-SiC折叠梁谐振微结构
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王雷
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Li, Jinmin;Zhao, Wanshun;王亮;赵万顺;Ning, Jin;宁瑾;赵永梅;Zhao, Yongmei;李晋闽;Wang, Lei;Wang, Liang;Sun, Guosheng;曾一平;Zeng, Yiping;孙国胜;刘兴坊;Liu, Xingfang;王雷
