Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force

Nano-finishing Using a Micro-particle Controlled by Optical Radiation Force
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使用光辐射力控制的微粒进行纳米精加工

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of the 20^<th> American Society for Precision Engineering Annual Meeting (ASPE'05) Vol.37
影响因子：
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通讯作者：
Terutake Hayashi
Terutake Hayashi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Kenshiro Hida;Takashi Miyoshi;Yasuhiro Takaya;Terutake Hayashi

文献摘要

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