NANOSPHERE LITHOGRAPHY - A MATERIALS GENERAL FABRICATION PROCESS FOR PERIODIC PARTICLE ARRAY SURFACES

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DOI：
10.1116/1.579726
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发表时间：
1995-05-01
期刊：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
影响因子：
--
通讯作者：
VANDUYNE, RP
VANDUYNE, RP
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者：
HULTEEN, JC;VANDUYNE, RP

文献摘要

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