石田 秀俊: "SiF_4を用いたプラズマCVD法によるSiCの低温成長" 第38回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. (1991)
石田 秀俊: "SiF_4を用いたプラズマCVD法によるSiCの低温成長" 第38回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. (1991)
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Hidetoshi Ishida：“使用 SiF_4 通过等离子体 CVD 进行 SiC 的低温生长”第 38 届应用物理学会会议记录（1991 年）。
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