基板付き圧電薄膜の様々な kt2評価法における電極面積依存性
基板付き圧電薄膜の様々な kt2評価法における電極面積依存性
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带基底的压电薄膜的各种 kt2 评估方法中电极面积的依赖性
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
関崚;清水祐樹;近藤圭太;柳谷隆彦
