TiNバッファー層によるVO_2薄膜の結晶成長及び転移特性の改善
TiNバッファー層によるVO_2薄膜の結晶成長及び転移特性の改善
复制标题
TiN缓冲层改善VO_2薄膜晶体生长和转变性能
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
モハメッドシュルズミヤ,沖村邦雄
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K. Miura;Y. Iguchi and Y. Kawamura;モハメッドシュルズミヤ,沖村邦雄