Formation of Palladium Silicide Thin Layers on Si(110) Substrates
Formation of Palladium Silicide Thin Layers on Si(110) Substrates
复制标题
Si(110) 衬底上硅化钯薄层的形成
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Zaima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R.Suryana;O.Nakatsuka;S.Zaima
