PLD法を用いた窒化ホウ素薄膜の合成

PLD法を用いた窒化ホウ素薄膜の合成
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PLD法合成氮化硼薄膜

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山中昭司
山中昭司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
安西淳;淵上雅世;犬丸啓;山中昭司

文献摘要

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