Influence of lapping parameters on 6H-SiC Crystal Substrate (0001) C surface based on diamond particle
Influence of lapping parameters on 6H-SiC Crystal Substrate (0001) C surface based on diamond particle
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Su Jianxiu, Liu Xinglong,Zhang Zhuqing;
