ナノパルスプラズマCVDによるアモルファスBN膜の合成と機械的特性評価
ナノパルスプラズマCVDによるアモルファスBN膜の合成と機械的特性評価
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纳脉冲等离子体CVD非晶BN薄膜的合成及力学性能评价
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齊藤雅典;村上碩哉;大竹尚登
