Static Dielectric Constant of β-Ga2O3 Perpendicular to the Principal Planes (100), (010), and (001)
Static Dielectric Constant of β-Ga2O3 Perpendicular to the Principal Planes (100), (010), and (001)
复制标题
β-Ga2O3 垂直于主面 (100)、(010) 和 (001) 的静态介电常数
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
影响因子：
2.2
通讯作者：
K. Irmscher
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A. Fiedler;R. Schewski;Z. Galazka;K. Irmscher
在25 K ~ 500 K温度范围内，通过测量相应取向的平板电容器或结构的交流电容，在高于1 MHz的测试频率下，测定了β -Ga 2 O3晶体在（100），（010），（001）面上的相对静态介电常数ε r，从而实现了静态介电常数ε r的直接定量和对所得值的唯一方向分配。和（001）分别为10.2 ± 0.2，10.87 ± 0.08和12.4 ± 0.4，这清楚地证明了β -Ga 2 O3由于其单斜晶体结构而具有预期的各向异性。从25 K到450 K，随着温度的升高，在所有取向下，Δ ε r增加约0.5。我们的BRR数据解决了以前可用的文献数据的绝对值和它们的方向分配方面的不一致，因此为器件的模拟和设计提供了可靠的基础。©根据知识共享条款访问归因
Therelativestaticdielectricconstant ɛ r of β -Ga 2 O 3 perpendiculartotheplanes(100),(010),and(001)isdeterminedinthetemperature rangefrom25Kto500KbymeasuringtheACcapacitanceofcorrespondinglyorientedplatecapacitorstructuresusingtestfrequenciesofupto1MHz.Thisallowsadirectquantificationofthestaticdielectricconstantandauniquedirectionassignmentoftheobtainedvalues.Atroomtemperature, ɛ r perpendicular to the planes (100), (010), and (001) amounts to 10.2 ± 0.2, 10.87 ± 0.08, and 12.4 ± 0.4, respectively, which clearly evidence the anisotropy expected for β -Ga 2 O 3 due to its monoclinic crystal structure. An increase of ɛ r by about 0.5 with increasing temperature from 25 K to 450 K was found for all orientations. Our ɛ r data resolve the inconsistencies in the previously available literature data with regard to absolute values and their directional assignment and therefore provide a reliable basis for the simulation and design of devices. © The an access under the terms of the Creative Commons Attribution