Characterization of Defects for Effective Gettering in Silicon Wager and Polysilicon Thin Films

Characterization of Defects for Effective Gettering in Silicon Wager and Polysilicon Thin Films
复制标题

硅片和多晶硅薄膜中有效吸杂缺陷的表征

DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
Proceedings of the 8th Biennial ASME Conference on Engineering Systems Design and Analysis, Torino, Italy. ESDA2006-95340
影响因子：
--
通讯作者：
K.Hayashi
K.Hayashi
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
Dan O.Macodiyo;H.Soyama;K.Hayashi

文献摘要

被引文献

相似文献