低温ECRによるSiマイクロマシニングと磁性体の微細構造加工
低温ECRによるSiマイクロマシニングと磁性体の微細構造加工
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使用低温 ECR 进行磁性材料的硅微加工和微结构加工
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山崎 二郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大山賢司;竹澤昌晃;本田 崇;森本祐治;山崎 二郎
