Influence of ion irradiation on internal residual stress in DLC films
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DOI：
10.1016/j.nimb.2010.05.063
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发表时间：
2010-10
影响因子：
1.3
通讯作者：
P. Karaseov;O. A. Podsvirov;K. Karabeshkin;A. Vinogradov;A. Azarov;N. Karasev;A. Titov;A. Smirnov
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Karaseov;O. A. Podsvirov;K. Karabeshkin;A. Vinogradov;A. Azarov;N. Karasev;A. Titov;A. Smirnov
