Y.Ushigusa: "Generation and Uniformity of a Large Diameter Plasma by Using Permanent Magnets" Proc.10th Symp.on Plasma Processing. 125-128 (1993)
Y.Ushigusa: "Generation and Uniformity of a Large Diameter Plasma by Using Permanent Magnets" Proc.10th Symp.on Plasma Processing. 125-128 (1993)
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Y.Ushigusa：“使用永磁体的大直径等离子体的生成和均匀性”Proc.10th Symp.on 等离子体处理。
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