井上, 片岡他: "レーザ光散乱法によるSiウエハ表面上の超微小欠陥計測"精密工学会誌. 68. 1337-1341 (2002)
井上, 片岡他: "レーザ光散乱法によるSiウエハ表面上の超微小欠陥計測"精密工学会誌. 68. 1337-1341 (2002)
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Inoue, Kataoka 等人：“使用激光散射法测量硅晶片表面的超细缺陷”日本精密工程学会杂志 68. 1337-1341 (2002)。
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