Table-top soft x-ray imaging of nanometric films
Table-top soft x-ray imaging of nanometric films
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纳米薄膜的桌面软 X 射线成像
DOI：
10.1063/1.2354469
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发表时间：
2006
影响因子：
4
通讯作者：
T. Pikuz
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
F. Calegari;S. Stagira;C. D'Andrea;G. Valentini;C. Vozzi;M. Nisoli;S. Silvestri;L. Poletto;P. Villoresi;A. Faenov;T. Pikuz
采用激光等离子体源和liff晶体作为探测器，采用软x射线接触成像技术对纳米铝和聚对二甲苯薄膜的形貌进行了表征。由于该光源以2π角的特征发射，可以获得相对于相干光源更宽视场的样品图像。liff晶体是一种廉价而强大的软x射线辐射成像探测器，它允许人们获得从数百到几十纳米厚度的薄膜的高空间分辨率图像。
Profiles of nanometric aluminum and parylene foils have been characterized by soft x-ray contact imaging using a laser-plasma source and a LiF crystal as detector. Due to the characteristic emission of this source in a 2π angle, it was possible to obtain the sample image in a wider field of view with respect to coherent sources. LiF crystal is a cheap and robust imaging detector for soft x-ray radiation, that allows one to get high spatial resolution images of thin films with thickness from hundreds down to a few tens of nanometers.
DOI：
10.1117/12.689536
发表时间：
2004-01
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
K. Kawamura;T. Kurobori;M. Hirano;H. Hosono
通讯作者：
K. Kawamura;T. Kurobori;M. Hirano;H. Hosono
DOI：
10.1007/b138761
发表时间：
2005
期刊：
Applied Physics B
影响因子：
--
作者：
Takayoshi Kobayashi;T. Okada;Tetsuro Kobayashi;K. Nelson;S. Silvestri
通讯作者：
Takayoshi Kobayashi;T. Okada;Tetsuro Kobayashi;K. Nelson;S. Silvestri