大気圧プラズマCVDによるプラスチックフィルム上へのSi成膜とその特性評価
大気圧プラズマCVDによるプラスチックフィルム上へのSi成膜とその特性評価
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常压等离子体CVD在塑料薄膜上形成Si膜及其特性评价
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
縄田慈人，前川健史，垣内弘章，大参宏昌，安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
潘 孟瀛;計 賢;林 晃敏;辰巳砂昌弘;S. Kera;縄田慈人，前川健史，垣内弘章，大参宏昌，安武潔
