Hitoshi UCHIDA: "Electrochemical Evaluation of Pinhole Defects in TiN Films Prepared by r.f.Reactive Sputtering" Materials Science and Engineering. Vol.A234-236. 649-652 (1997)
Hitoshi UCHIDA: "Electrochemical Evaluation of Pinhole Defects in TiN Films Prepared by r.f.Reactive Sputtering" Materials Science and Engineering. Vol.A234-236. 649-652 (1997)
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Hitoshi UCHIDA：“通过射频反应溅射制备的 TiN 薄膜中针孔缺陷的电化学评估”材料科学与工程。
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