M.Otobe: "Selective Etching of Hydrogenated Amorphous Silicon by Hydrogen Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4442-4445 (1994)
M.Otobe: "Selective Etching of Hydrogenated Amorphous Silicon by Hydrogen Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4442-4445 (1994)
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M.Otobe：“氢等离子体对氢化非晶硅的选择性蚀刻”Jpn.J.Appl.Phys.33。
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