石島達夫, 菅井秀郎 他1名: "Control of Electron Distribution Function and Radical Composition of Fluorocarbon Plasma by Rare Gas Selection"Proceedings of the 18th Symposium on Plasma Processing. 79-80 (2001)
石島達夫, 菅井秀郎 他1名: "Control of Electron Distribution Function and Radical Composition of Fluorocarbon Plasma by Rare Gas Selection"Proceedings of the 18th Symposium on Plasma Processing. 79-80 (2001)
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Tatsuo Ishijima、Hideo Sugai 等 1：“通过稀有气体选择控制氟碳等离子体的电子分布函数和自由基组成”第 18 届等离子体加工研讨会论文集 79-80（2001）。
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