抛光工艺参数对熔石英元件低频面形精度的影响
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王景贺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
朱本温;陈贤华;侯晶;王景贺
