熱振動を考慮したMEM静電ポテンシャル解析
熱振動を考慮したMEM静電ポテンシャル解析
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考虑热振动的 MEM 静电势分析
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高田昌樹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
井上充;田中宏志;高田昌樹