種々のエッチャントを用いたGaAsの湿式エッチング
種々のエッチャントを用いたGaAsの湿式エッチング
复制标题
使用各种蚀刻剂对 GaAs 进行湿法蚀刻
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
伊藤大喜，阿相英孝，小野幸子
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Ono;阿相英孝，小野幸子;大野宗一;伊藤大喜，阿相英孝，小野幸子
