GAを用いたCVDの成膜速度分布に関する計算アルゴリズムの開発と評価
GAを用いたCVDの成膜速度分布に関する計算アルゴリズムの開発と評価
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使用GA的CVD沉积速率分布计算算法的开发和评估
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋崇宏,河村健,長谷部恭弘,稲垣妙香,高橋和也,江間義則
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahiro Takahashi;Ken Kawamura;Kazuya Takahashi and Yoshinori Ema;高橋崇宏,河合晃平,中井寛之,金原宏樹,江間義則;高橋崇宏,河村健,長谷部恭弘,稲垣妙香,高橋和也,江間義則
