Residual stress in yttrium doped barium zirconate thin films fabricated by PLD method
Residual stress in yttrium doped barium zirconate thin films fabricated by PLD method
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PLD法制备钇掺杂锆酸钡薄膜的残余应力
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Noriko Sata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroo Yugami;Fumitada Iguchi;Taro Fukushige;Noriko Sata
