A.Kawamura,S.Ike,S.Shoji: "Fabrication of fine metal microstructures packaged in the bonded glass substrate"Proc.of SPIE:Design,Characterization and Packaging for MEMS & Microelectronicsw. Vol.3893. 486-493 (1999)
A.Kawamura,S.Ike,S.Shoji: "Fabrication of fine metal microstructures packaged in the bonded glass substrate"Proc.of SPIE:Design,Characterization and Packaging for MEMS & Microelectronicsw. Vol.3893. 486-493 (1999)
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A.Kawamura、S.Ike、S.Shoji：“封装在粘合玻璃基板中的精细金属微结构的制造”Proc.of SPIE：MEMS 的设计、表征和封装
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