Investigation of relationship between growth of nanoparticle and plasma generation due to amplitude modulated discharge voltage in TEOS plasma
Investigation of relationship between growth of nanoparticle and plasma generation due to amplitude modulated discharge voltage in TEOS plasma
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研究 TEOS 等离子体中调幅放电电压引起的纳米粒子生长与等离子体产生之间的关系
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masaharu Shiratani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kunihiro Kamataki;Kohei Abe;Akihiro Yamamoto;Iori Nagao;Michihiro Otaka;Daisuke Yamashita;Naho Itagaki;Kazunori Koga;Masaharu Shiratani
