光学式形状計測を利用した高精度鏡面誤差評価に関する研究
光学式形状計測を利用した高精度鏡面誤差評価に関する研究
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基于光学形状测量的高精度镜面反射误差评估研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中宏明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤健太;田中宏明;鈴木俊之,藤田和央,山田哲哉,稲谷芳文,石井信明;田中宏明
