高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価
高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価
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高灵敏度MEMS加速度传感器镀金材料的合成及其机械性能评估
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
町田克之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
曽根正人;Chang Tso-Fu Mark;陳君怡;山根大輔;益一哉;町田克之
