On shape selection of a speed Controlled shutter for thickness distribution control.
On shape selection of a speed Controlled shutter for thickness distribution control.
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用于厚度分布控制的速度控制快门的形状选择。
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Hatano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. S. Hayano;R. S. Hayano;M. Toyoda;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;M. Yamamoto;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;M. Hori;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. Fuankoshi;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;M. Yamamoto;R. S. Hayano;R. S. Hayano;R. S. Hayano;T. Harada;R. S. Hayano;T. Tsuru;R. S. Hayano;T. Hatano
