超高真空熱アニーリング法によるSiナノ微粒子の作製と評価
超高真空熱アニーリング法によるSiナノ微粒子の作製と評価
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超高真空热退火法制备纳米硅粒子并评价
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中勝己
中科院分区：
文献类型：
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作者：
袁群;Chew-Keong Choo;永井豊;田中勝己
